高频科技推出一体式智能超纯水系统,实现半导体用水快速部署

媒体观点 05-25 11:11

在半导体制造中,超纯水是不可或缺的关键介质。随着半导体产业快速发展,用水场景日趋多元,对超纯水系统的部署速度、场景适配性、运维便捷度与水质稳定性提出更高要求。高频科技凭借二十余年超纯工艺积累,推出一体式智能超纯水系统,以模块化集成、标准化交付、智能化运行等优势,满足半导体多元用水需求,提供更灵活、更高效、更稳定的超纯水供给保障。

场景全覆盖,灵活适配各类用水需求

半导体行业用水场景复杂多样,临时保供、调峰生产、研发测试、应急恢复等都对供水方案提出不同挑战。高频科技一体式智能超纯水系统具备全场景覆盖能力,可适配工厂建设与设备维护临时供水、季节性生产变动供水、研究与试运行超纯水供给、紧急事件及灾害恢复期供水等多元场景。该系统提供5m³/h、10m³/h、15m³/h、20m³/h、25m³/h五档标准产水量选项,能够快速嵌入半导体、光电面板、科研院所、电子化学品等多种工业与科研环境,灵活响应不同用水需求。

集成化标准设计,快速部署即接即用

传统超纯水系统现场施工繁琐、调试周期长,难以满足快速投产需求。高频科技该系统采用高度集成化与标准化设计,整合近20个工艺子系统,涵盖过滤、吸附、离子交换、膜分离、紫外线降解等核心技术,包含100多类装备与部件。所有设备在厂内完成整机装配与全流程调试,现场仅需简单对接即可投用。系统出水电阻率≥18MΩ・cm,TOC、颗粒、细菌、金属离子等关键指标均达到半导体生产工艺的用水标准,真正实现快速部署、通水即达标,极大缩短项目建设周期。

智能全自动运行,省心稳定易维护

稳定连续运行与轻量化运维是半导体产线的核心诉求。高频科技一体式智能超纯水系统采用PLC全自动控制搭配上位机监控系统,可通过远程智能运维实现无人值守稳定运行。系统还配备精密的在线检测仪表,如电导电阻率仪、PH仪表、ORP仪表等,对电阻率、TOC、颗粒、溶解氧及各类离子浓度进行实时监控。结合高频科技标准化的运维专家模型,该系统在确保水质持续稳定的同时,有效降低客户的运维负担与综合运营成本,让超纯水管理更加省心、高效。

从行业应用来看,高频科技一体式智能超纯水系统以成熟的技术方案、标准化的产品形态与智能化的运行管理,有效适配半导体产业多元化、高效率、高稳定性的用水需求,为产线建设、生产保障、科研试验等场景提供了务实可行的超纯水供给路径。该产品的落地应用,进一步丰富了国内超纯水装备体系,为半导体制造领域的高效运营与稳定生产提供了实用支撑。


本文作者为nc5872。

nc5872

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