上交所科创板上市委会议公告，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称“恒运昌”）IPO将于11月14日上会。在上交所科创板即将迎来又一家“硬科技”企业之际，恒运昌以其在等离子体射频电源系统领域深厚的技术积淀和显著的创新成果，吸引了资本市场的目光。这家企业用实力证明，在半导体核心零部件的高地上，中国力量正加速崛起。
创新驱动，构建核心技术护城河
等离子体射频电源系统行业属于技术密集型行业，涉及多学科交叉，技术壁垒极高。恒运昌自创立之初，便将技术创新视为企业发展的生命线。经过十余年的持续研发与积累，恒运昌围绕等离子体射频电源系统更快速、更精准、更稳定的应用要求，构建了完善的技術体系，形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等关键环节。
截至报告期末，恒运昌拥有已授权发明专利108项，在申请发明专利133项。恒运昌承担了国家半导体产业的基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接3项国家级重大专项课题。恒运昌是国家高新技术企业、中国集成电路零部件创新联盟理事单位、国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”、“科创中国”射频开关电源创新基地、广东省2024年制造业单项冠军、广东省射频开关电源工程技术研究中心，并获得第六届中国集成电路创新联盟“IC创新奖”、广东省真空科技进步一等奖、2024年“湾芯奖”之“核心零部件创新奖”、中芯国际“零部件模组战略供应商”、拓荆科技“超卓伙伴奖”和“最佳交付奖”、微导纳米“最佳合作奖”等荣誉。
产品迭代，实现从追赶到并跑
恒运昌的产品发展史，就是一部国产射频电源技术的进化史。从早期满足一般工业需求的CSL系列，到突破28纳米制程的Bestda系列，再到如今支撑7-14纳米先进制程的Aspen/Basalt系列，公司完成了清晰的产品代际升级。每一次迭代，都是对前沿技术难题的攻克，都是对国际巨头垄断格局的有力冲击。
恒运昌的产品线也已从单一的等离子体射频电源系统，扩展至等离子体直流电源、远程等离子体源、射频离子源以及滤波器、阻抗调整器等多种配件，形成了围绕等离子体工艺的核心零部件整体解决方案能力。
权威认可，技术实力获多方背书
恒运昌的技术先进性和产品可靠性，获得了业界多家研究机构及头部客户的高度认可。公司获得了国家工业信息安全发展研究中心出具的《科学技术成果评价报告》、北方集成电路技术创新中心出具的《晶圆厂应用及核心技术水平认证报告》以及拓荆科技、中微公司等客户出具的应用证明。这些权威背书，无疑为恒运昌的科创属性提供了有力注脚。
恒运昌的案例充分说明，唯有坚持自主创新，才能突破关键核心技术，摆脱受制于人的局面。登陆科创板，将为恒运昌带来更广阔的发展平台和融资渠道，助力其继续向技术无人区挺进，在全球半导体零部件竞争中占据更重要的位置。
